本試驗設備適用于半導體行業(yè)對其產(chǎn)品及材料無氧銅進行高溫的環(huán)境下的固化或檢驗其各項性能指標。

二、技術指標：

產(chǎn)品名稱

20PPM無氧烘箱

產(chǎn)品型號

GW-800L-DZ

內部尺寸mm

800*1000*1000mm（深*寬*高）

外部尺寸mm

約1050*1650*1550mm（深*寬*高）

子母車尺寸mm

650*800*900mm（深*寬*高）

容   積

0.8立方

溫度范圍

                 室溫+15~300℃

溫度波動度

≤±0.5℃

溫度均勻度

≤±1.5%℃

升溫速率

3~5℃/min可調節(jié)

O2濃度控制范圍

20ppm、500ppm、2000ppm

O2濃度分辨率

±1ppm

含氧量誤差

0-99PPM之內是10ppm誤差

100-2000PPM之內是3%FS

氮氣流量檢測

0~600L/min（顯示范圍）

氮氣流量調節(jié)

0~480L/min

0~100L/min

備注：預期手動調節(jié)好，自動根據(jù)濃度切換流量

氮氣壓力檢測

-100kpa~100kpa可設定，當腔內內部氮氣正壓力超出預警壓力值自動報警切斷進氣閥門

裝機功率

7.8KW

三、系統(tǒng)配置及技術說明：

1、箱體結構

內箱材質

1.5mm厚度優(yōu)質SUS304不銹鋼鏡面不變形

外箱材質

1.2mm厚度冷軋鋼板靜電烤漆，顏色9003米白色，堅固、美觀、耐用

外箱溫度

箱體表面溫度≤室溫+10℃

內箱工藝

采用不銹鋼整體滿焊焊接成形，確保在注入惰性氣體狀態(tài)下充分循環(huán)保護試驗樣品

保溫棉

整機保溫層厚度100mm，超細超陶瓷纖維保溫棉/硅酸鋁板填充

加熱器

瓷片式加熱器，內嵌式加熱元件安裝于不銹鋼腔體夾層中極為安全

風機循環(huán)

雙組專用長軸高溫渦輪結構風機，專長軸設計高溫環(huán)境下抗溫變能力更優(yōu)秀

降溫方式

氮氣降溫，程序預設定保溫時間終了降溫泄壓閥自動打開

氣體保護

操作面板設計惰性氣體控制流量計，通過調節(jié)流量來控制進氣，自動閥門打開，到達濃度自動關閉保持低氧濃度環(huán)境

氮氣接口

箱體底部安裝后10mm口徑自動進氣口，進氣口與控制氮氣流量管路連接。

門封材料

箱門閉合松緊能調節(jié)，整體成型日本進口硅橡膠門封圈，確保箱內最小化熱氣泄露

2、測控系統(tǒng)

溫度控制器

采用PLC系統(tǒng)，7寸觸摸屏控制 、具備多組PID加自適應控制可編程100個溫度階梯與升溫與保溫時間、O2濃度保持，運行數(shù)據(jù)保護與實時查詢

控制器操作界面設中英文可供選擇

傳感器

PT100/K型熱電偶溫度測試傳感器

三色燈報警定義

1、綠色燈點亮為運行正常

2、黃色燈點亮待機狀態(tài)

3、紅色燈點亮為異常報警